精密設備搬送
本社は半導体、光電、太陽電池などハイテク産業及び医療機関が使用する精密設備、測定機械などの搬送工事基準に合致するためにエアサスペンション装置を購入した。精密設備を搬送する時に発生する震動、揺れで損害及び精密度にズレが生じることを避けられる。
半導体精密設備の搬入手順
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工事前の現場事前会議
(環境安全事項宣言、施工注意事項及び人員の業務配分) -
クリームルームの動線設置の事前作業
(まずナイロンシートを敷く、そしてステンレス板を敷く、ステンレス板が床に傷をつけることを防止する) -
クリームルームの動線設置 -
ステンレス板の隙間をはめこみ作業を進行
(氣エアサスペンションの作業をする時、ステンレス板がエアサスペンションプレートを傷つけることを防止する) -
貨物を降ろす前に貨物の外観を検査
(檢指示器が変色しているかどうか及び木箱の外観が破損していないかかどうかを検査する) -
指示器検査 -
フォークリフトを指揮し貨物降ろす -
木箱を作業区へ移動 -
木箱の分解 -
木箱の分解
(作業区安全維持、作業区の地面ネジを随時検査、人員に傷害を及ぼさないように予防する) -
施工区安全維持及び隔離離
(セーフティコーンで隔離) -
設備を移動する時に左と右何れも専門人員が誘導及び指揮する事が必要 -
真空袋を取壊し及び設備と台座を固定するかどうかを確認 -
設備と台座を分解 -
クリームルームの前室に移動 -
エアシャワールームへ移動 -
TEL NEXX Stratus S300-FX エア式の設備移動線路を取り付け -
設備の長さが長すぎる場合クリームルームの入口にナイロンシートでカーテンを作る事が必要 -
TEL NEXX Stratus S300-FX エア式設備移動と設置 -
TEL NEXX Stratus S300-FX 設置完成 -
SUSS MA300GEN2 設置完成 -
DKSH CLN300II 設置完成 -
SUSS ACS300GEN2 設置完成 -
NIKON OM OST3100 設置完成 -
Ultratech AP300 設置完成