精密设备搬运

本公司为符合半导体、光电、太阳能等高科技产业及医疗院所使用之精密设备、量测仪器等搬运工程，特别购入气垫悬浮式设备，避免精密设备在搬运时所产生之震动、摇晃造成损坏及精密度失真。

气垫悬浮主机

气垫悬浮盘及控制器

半导体精密设备进机流程

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  施工前工具箱会议
  (环安事项宣导、施工注意事项及人员任务分配)

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  前置作业无尘室动线铺设
  (先铺设PE膜、再铺设白铁板，防止白铁板刮伤地板)

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  无尘室施工动线铺设

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  进行白铁板无缝作业
  (气垫悬浮作业时，防止白铁板刮伤气垫盘)

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  卸货前，货物外观检查
  (检查指示器是否变色及木箱外观是否破损)

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  指示器检查

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  指挥堆高机进行卸货

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  将木箱移至作业区

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  木箱拆解

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  木箱拆解
  (工作区域安全维护，随时检查工作区域地面铁钉，预防人员造成伤害)

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  施工区域安全维护及隔离
  (放置安全锥隔离)

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  设备移动时，左右均需有专人引导及指挥

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  拆除真空袋及检查设备与底座是否有固定

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  将设备与底座分开

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  移至无尘室缓冲区

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  移入无尘室

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  TEL NEXX Stratus S300-FX 气垫移机管路架设

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  设备长度过长，须在无尘室入口用PE膜制作门帘

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  TEL NEXX Stratus S300-FX 气垫移机定位

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  TEL NEXX Stratus S300-FX 完成定位

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  SUSS MA300GEN2 完成定位

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  DKSH CLN300II 完成定位

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  SUSS ACS300GEN2 完成定位

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  NIKON OM OST3100 完成定位

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  Ultratech AP300 完成定位