精密設備搬運
本公司為符合半導體、光電、太陽能等高科技產業及醫療院所使用之精密設備、量測儀器等搬運工程,特別購入氣墊懸浮式設備,避免精密設備在搬運時所產生之震動、搖晃造成損壞及精密度失真。
氣墊懸浮主機
氣墊懸浮盤及控制器
半導體精密設備進機流程
施工前工具箱會議
(環安事項宣導、施工注意事項及人員任務分配)
前置作業無塵室動線舖設
(先舖設PE膜、再舖設白鐵板,防止白鐵板刮傷地板)
無塵室施工動線舖設
進行白鐵板無縫作業
(氣墊懸浮作業時,防止白鐵板刮傷氣墊盤)
卸貨前,貨物外觀檢查
(檢查指示器是否變色及木箱外觀是否破損)
指示器檢查
指揮堆高機進行卸貨
將木箱移至作業區
木箱拆解
木箱拆解
(工作區域安全維護,隨時檢查工作區域地面鐵釘,預防人員造成傷害)
施工區域安全維護及隔離
(放置安全錐隔離)
設備移動時,左右均需有專人引導及指揮
拆除真空袋及檢查設備與底座是否有固定
將設備與底座分開
移至無塵室緩衝區
移入無塵室
TEL NEXX Stratus S300-FX 氣墊移機管路架設
設備長度過長,須在無塵室入口用PE膜製作門簾
TEL NEXX Stratus S300-FX 氣墊移機定位
TEL NEXX Stratus S300-FX 完成定位
SUSS MA300GEN2 完成定位
DKSH CLN300II 完成定位
SUSS ACS300GEN2 完成定位
NIKON OM OST3100 完成定位
Ultratech AP300 完成定位